多模态表面缺陷检测仪
发布时间:2022-09-19 来源:知常光电 浏览次数:2502次
多模态表面缺陷检测仪 | |
型号 | MMDI-2000 |
最大样品尺寸 | 100mmx100mm (L x W),或根据客户需求定制 |
检测模式 | 激光散射、光热吸收、显微成像;可根据用户需求定制不同组合模式 |
缺陷检测灵敏度 | ≤0.3μm |
光热吸收检测灵敏度 | 10ppb |
光热吸收缺陷检测灵敏度 | ≤10μm |
光热吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波长 |
显微成像检测横向分辨率 | ≤0.5μm |