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多模态显微成像缺陷检测仪


多模态显微成像缺陷检测仪

       多模态显微成像缺陷检测仪(Model MDI-2000),是一款把激光散射扫描成像、明暗场光学成像、光热显微成像三种技术集成在一起,三位一体,模式自动切换,一键式全自动操作,特别适合超精密加工工艺的研究以及强激光元件质量评价。

   产品特征

1、高速度;

2、高灵敏度;

3、 高重复性;

4、一键式全自动操作;

5、样品更换便捷、无需重复校准。

   主要技术参数
多模态显微成像缺陷检测仪

检测方式

全自动

激光散射缺陷尺寸灵敏度

50nm(硅) ,200nm(石英)

光学明场暗场成像分辨率

亚微米(标配),可以优于500nm(选项)

光热显微成像分辨率

亚微米(标配),可以优于500nm(选项) 

注:可以根据客户需求提供同类特制仪器和相关测试的解决方案,包括大尺寸元件解决方案。