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大口径光学元件散射缺陷检测仪


大口径光学元件散射缺陷检测仪

       大口径光学元件散射缺陷检测仪(Model LSDI-2000-LA),适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本系统是一款非接触式、全自动的检测仪器,能够高速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。

   产品特征

1. 高速度

2. 高灵敏度

3. 高重复性

4. 全自动操作

5. 可根据不同标准自动判别

   主要技术参数
大口径光学元件散射缺陷检测仪

型号

LSDI-2000-LALSDI-3000-LA

检测方式

全自动全自动

检测灵敏度

≤ 500nm65 nm~90 nm

样品尺寸

米级

φ 300 mm

注:可以根据客户需求提供同类特制仪器和相关测试的解决方案。