玻璃晶圆缺陷检测设备
产品介绍
玻璃晶圆缺陷检测设备(NOVA-2000-G)，是用于透明或半透明玻璃晶圆衬底的缺陷检测设备，可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷，对透明晶圆的质量控制具有重要作用。
玻璃晶圆缺陷检测设备集成明场、暗场等多种检测模式，对各类缺陷提供可靠的缺陷信息，结合缺陷自动检测与分类算法，提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据，生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。
| 玻璃晶圆缺陷检测设备 | |
| 晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸 |
| 晶圆类型 | 玻璃、光学级SiC等透明或半透明玻璃晶圆衬底 |
| 检测效率 | ≥20WPH （@8英寸晶圆，分辨率0.5μm） |
| ≥10WPH （@12英寸晶圆，分辨率0.5μm） | |
| 分辨率 | 5μm-0.25μm |
| 上下料方式 | 全自动，2 LoadPorts |
01
【装夹方式定制化】可根据需求配置晶圆夹持方式，应对晶圆背面有效区域内不能接触的需求。
02
【高自动化程度】采用全自动传片与检测方式，灵活的配方设置，实现检测过程一键式操作。
03
【背面噪声抑制】 特殊设计的光学成像系统与机械结构，抑制背景噪声，保证透明玻璃晶圆缺陷信号的准确性。
04
【高检测效率】采用时间延迟积分技术和高功率照明，相比传统探测器能够更高效率的获取图像信息，得到高检测吞吐效率。
05
【智能算法】传统算法与AI算法相结合，融合多通道检测信息，精确定位缺陷和提取缺陷，并给出缺陷的名项信息，包括缺陷类型、尺寸、坐标等。
06
【实时自动对焦】实时自动对焦，对不同厚度晶圆和翘曲晶圆实现自动对焦和全程跟焦。
如果您对本款产品有意向，想了解更多可以给 我们留言，我们将在第一时间与您联系
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