图形晶圆缺陷检测设备

发布时间:2025-04-18 来源:知常光电 浏览次数:12752次

图形晶圆缺陷检测设备
晶圆尺寸 200mm/300mm
晶圆类型 Semi Standards 
检测方式 明场、暗场、微分干涉
分辨率 5um -0.25um
镜头 1X,2X,5X,10X,20X,50X
检测缺陷类型 划伤、麻点、污染、图形缺陷等
自动化 2 LoadPorts