0551-65685712
| 大口径元件缺陷多模态检测仪 | |
| 型号 | MMDI-2000-LA |
| 样品尺寸 | ≤500mmx500mm |
| 检测模式 | 激光散射、光热吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微 成像五种。可根据用户需求定制不同组合模式 |
| 缺陷检测灵敏度 | ≤0.3 μm |
| 光热吸收检测灵敏度 | 10ppb |
| 光热吸收缺陷检测灵敏度 | ≤10μm |
| 光热吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波长 |
| 显微成像检测横向分辨率 | ≤1μm |
| 激光共聚焦缺陷检测灵敏度 | ≤0.3 μm |
| 激光共聚焦缺陷横向分辨率 | ≤0.5 μm |
| 激光共聚焦缺陷纵向分辨率 | ≤1μm |
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