大口径元件散射缺陷检测仪
产品介绍
大口径元件散射缺陷检测仪(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C),适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本设备是一款非接触式、全自动的检测仪器,能够快速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。
大口径元件散射缺陷检测仪 | ||
型号 | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-C |
检测方式 | 全自动 | 全自动 |
检测灵敏度 | ≤200nm | ≤200nm |
样品类型 | 平面 | 球面、非球面 |
样品尺寸 | ≤500mm x 500mm x 80mm ( L x W x H ) |
注:可以根据客户需求提供同类定制仪器和相关测试的解决方案
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