多模态表面缺陷检测仪 | |
型号 | MMD1-2000 |
最大样品尺寸 | 100mm x 100mm(L x W),或根据客户需求定制 |
检测模式 | 激光散射、光热吸收、显微成像;可根据用户需求定制不同组合模式 |
缺陷检测灵敏度 | ≤0.3 μm |
光热吸收检测灵敏度 | ≤10ppb |
光热吸收缺陷检测灵敏度 | ≤10 μm |
光热吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波长 |
显微成像检测横向分辨率 | ≤0.5um |
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