玻璃晶圆缺陷检测设备

产品介绍

玻璃晶圆缺陷检测设备(NOVA-2000-G),是用于透明或半透明玻璃晶圆衬底的缺陷检测设备,可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷,对透明晶圆的质量控制具有重要作用。

玻璃晶圆缺陷检测设备集成明场、暗场等多种检测模式,对各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。

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产品参数
玻璃晶圆缺陷检测设备
型号 NOVA-2000-G
晶圆类型 玻璃晶圆衬底、图形晶圆
晶圆尺寸 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相邻尺寸)
检测方式 明场、暗场、微分干涉
分辨率 10μm -0.5μm
镜头 1X,2X 5X,10X,20X,50X
检测缺陷类型 划痕,麻点,颗粒物,污染,崩边等
产率 ≥12WPH(@8英寸晶圆,分辨率1μm)
≥7WPH(@12英寸晶圆,分辨率1μm)
自动化 2 LoadPort
产品特点

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