玻璃晶圆缺陷检测设备
产品介绍
玻璃晶圆缺陷检测设备(NOVA-2000-G),是用于透明或半透明玻璃晶圆衬底的缺陷检测设备,可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷,对透明晶圆的质量控制具有重要作用。
玻璃晶圆缺陷检测设备集成明场、暗场等多种检测模式,对各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。
玻璃晶圆缺陷检测设备 | |
型号 | NOVA-2000-G |
晶圆类型 | 玻璃晶圆衬底、图形晶圆 |
晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相邻尺寸) |
检测方式 | 明场、暗场、微分干涉 |
分辨率 | 10μm -0.5μm |
镜头 | 1X,2X 5X,10X,20X,50X |
检测缺陷类型 | 划痕,麻点,颗粒物,污染,崩边等 |
产率 | ≥12WPH(@8英寸晶圆,分辨率1μm) |
≥7WPH(@12英寸晶圆,分辨率1μm) | |
自动化 | 2 LoadPort |
01
【装夹方式定制化】可根据需求配置晶圆夹持方式,应对晶圆背面有效区域内不能接触的需求。
02
【高自动化程度】采用全自动传片与检测方式,灵活的配方设置,实现检测过程一键式操作。
03
【背面噪声抑制】 特殊设计的光学成像系统与机械结构,抑制背景噪声,保证透明玻璃晶圆缺陷信号的准确性。
04
【高检测效率】采用时间延迟积分技术和高功率照明,相比传统探测器能够更高效率的获取图像信息,得到高检测吞吐效率。
05
【智能算法】传统算法与AI算法相结合,融合多通道检测信息,精确定位缺陷和提取缺陷,并给出缺陷的名项信息,包括缺陷类型、尺寸、坐标等。
06
【实时自动对焦】实时自动对焦,对不同厚度晶圆和翘曲晶圆实现自动对焦和全程跟焦。
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