0551-65685712
| 多模态表面缺陷检测仪 | |
| 型号 | MMDI-2000 |
| 最大样品尺寸 | 100mmx100mm (L x W)，或根据客户需求定制 |
| 检测模式 | 激光散射、光热吸收、显微成像；可根据用户需求定制不同组合模式 |
| 缺陷检测灵敏度 | ≤0.3μm |
| 光热吸收检测灵敏度 | 10ppb |
| 光热吸收缺陷检测灵敏度 | ≤10μm |
| 光热吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波长 |
| 显微成像检测横向分辨率 | ≤0.5μm |
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