铌（钽）酸锂缺陷检测设备
产品介绍
铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN)，是用于铌酸锂、钽酸锂等衬底晶圆的缺陷检测设备，可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工艺类型，可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷，对晶圆的质量控制具有重要作用。
铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN)集成明场、暗场等多种检测模式，对各类缺陷提供可靠的缺陷信息，结合缺陷自动检测与分类算法，提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各顶缺陷数据，生成晶圆缺陷检测报告，供用户进行质量评估和判定。
| 铌(钽)酸锂缺陷检测设备 | |
| 型号 | NOVA-2000-LN/LT |
| 晶圆类型 | 铌(钽)酸锂抛光衬底，黑化、半黑化、全透明等 |
| 晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
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检测方式 |
明场、暗场 |
| 产率 | ≥20WPH(@6英寸晶圆，分辨率1μm) |
| ≥12WPH(@8英寸晶圆，分辨率1μm) | |
| 自动化 | 2 LoadPort |
01
【高检测效率】采用时间延迟积分技术和高功率照明，相比传统探测器能够更高效率的获取图像信息，得到高检测吞吐效率。
02
【高自动化程度】采用全自动传片与检测方式，灵活的配方设置，实现检测过程一键式操作。
03
【装夹方式定制化】可根据需求配置晶圆夹持方式，应对晶圆背面有效区域内不能接触的需求。
04
【背面噪声抑制】持殊设计的光学成像系统与机械结构，抑制背景噪声，保证透明晶圆缺陷信号的准确性。
05
【实时自动对焦】实时自动对焦，对不同厚度品圆和翘曲品圆实现自动对焦和全程跟焦。
06
【智能算法】传统算法与AI算法相结合，融合多通道检测信息，精确定位缺陷和提取缺陷，并给出缺陷的各项信息，包括缺陷类型、尺寸、坐标等。
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