01

【多通道光学检测系统】特殊设计的多通道光学检测系统，实现SiC复杂多样的缺陷在一次运行中完成检测。

02

【实时自动对焦】实时自动对焦，对不同厚度晶圆和翘曲晶圆实现自动对焦和全程跟焦。

03

【缺陷自动检测与分类算法】基于深度学习的缺陷自动检测与分类算法。

04

【高洁净等级】全密封检测环境，全自动传片，无尘微环境设计，保障晶圆检测过程的洁净。

05

【智能操作软件】一键式操作软件，自动检测晶圆位置与数量，并进行自动检测。也可选择单片检测，灵活操作。