激光共聚焦显微镜 | |
型号 | LCM-2000 |
成像方式 | 共聚焦+彩色成像 |
最大视场 | 1600μm x 1600μm @5X |
横向分辨率 | 150nm |
纵向分辨率 | 10nm |
单次测量最大图像 | 4096 x 4096 |
XY载物台 | 100mm x 100mm,电动 |
*注:可以根据客户需求提供同类特制仪器和相关测试的解决方案
01
彩色显微成像与激光共聚焦成像两种检测模式;
02
高功率光源,支持透明样品表面检测;
03
全倍率自动对焦;
04
多种放大倍率电动切换;
05
模块化设计,可集成光学吸收缺陷检测、散射缺陷检测等其他缺陷检测方式;
06
支持扩展样品尺寸到米级元件。
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