光热扫描显微镜 | ||
产品类别 | 二维光热扫描显镜 | 三维光热扫描显微镜 |
型号 | PTM-2000 | PTM3D-2000 |
检测灵敏度 | 0.1 ppm | 0.1 ppm |
检测波长 | 355nm、532nm、1064nm或其他定制波长 | 355nm、532nm、1064nm或其他定制波长 |
空间分辨率 | 亚微米[1] | 横向3μm,纵向20μm |
样品尺寸 | ≤100mm x 100mm x 10mm ( L x W x H ) | ≤100mm x 100mm x 10mm ( L x W x H ) |
*注1 :空间分辨率与检测波长相关
01
一键式操作
02
可以对吸收缺陷进行二维(三维)高分辨成像
03
可进行样品或者选定的缺陷点在激光辐照下的稳定性分析
04
样品更换便捷、无需重复校准
05
泵浦光源:可以标配,也可以根据用户需求选配
06
高灵敏度
07
高重复精度
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